Fotokromatska leća SETO 1.60 SHMC

1) Što je centrifugiranje?

Spin coating je postupak koji se koristi za nanošenje jednolikih tankih filmova na ravne podloge.Obično se mala količina materijala za oblaganje nanosi na središte podloge, koja se ili vrti malom brzinom ili se uopće ne vrti.Supstrat se zatim okreće brzinom do 10 000 okretaja u minuti kako bi se materijal za oblaganje rasporedio centrifugalnom silom.Stroj koji se koristi za centrifugiranje naziva se stroj za centrifugiranje ili jednostavno centrifuga.
Rotacija se nastavlja dok se tekućina vrti s rubova podloge, dok se ne postigne željena debljina filma.Primijenjeno otapalo je obično hlapljivo i istovremeno isparava.Što je veća kutna brzina vrtnje, film je tanji.Debljina filma također ovisi o viskoznosti i koncentraciji otopine, te otapalu.[2]Pionirsku teorijsku analizu centrifugiranja poduzeli su Emslie et al., a proširili su je mnogi kasniji autori (uključujući Wilsona et al., [4] koji su proučavali brzinu širenja kod spin coatinga; i Danglad-Flores et al., [5] koji je pronašao univerzalni opis za predviđanje debljine taloženog filma).
Prevlačenje centrifugiranjem naširoko se koristi u mikroproizvodnji funkcionalnih oksidnih slojeva na staklenim ili monokristalnim supstratima korištenjem sol-gel prekursora, gdje se može koristiti za stvaranje uniformnih tankih filmova debljine u nanoskali. [6]Intenzivno se koristi u fotolitografiji, za nanošenje slojeva fotorezista debljine oko 1 mikrometra.Fotorezist se obično vrti pri 20 do 80 okretaja u sekundi tijekom 30 do 60 sekundi.Također se široko koristi za izradu planarnih fotonskih struktura od polimera.
Jedna od prednosti nanošenja tankih filmova centrifugiranjem je ujednačenost debljine filma.Zahvaljujući samoniveliranju, debljine ne variraju više od 1%.Međutim, centrifugiranje debljih filmova polimera i fotorezista može rezultirati relativno velikim rubnim kuglicama čija planarizacija ima fizička ograničenja.